低溫濺鍍

傳統的真空濺鍍技術的工作溫度大約在150℃以上，所以只能應用在玻璃基板或是金屬基板上，主要應用在以下幾個產業：

微電子、儲存媒體、切削工具、太陽能產業、光學工業、醫療設備、彈性包裝、其他產業市場。

目前比較熱門的低溫真空濺鍍的工作溫度約在60℃的左右，因此可以應用在塑膠或是壓克力基板上，主要應用在汽機車零組件、家庭五金、食品包裝材料、生技醫療器材、太陽能吸收板、光通訊元件、數位相機等業務範圍。

目前台灣有仕欽(6232)以及柏騰科技(3518)應用低溫真空濺鍍技術於EMI Shielding(防電磁波干擾)鍍膜、外觀鍍膜、導電玻璃鍍膜及導光板鍍膜等等。

而相關的本土設備商有以下幾家，由於應用面相當廣，或許也是台灣發展PVD自有設備的起點。

凌嘉科技
仕貫真空
鈺衡科技