Transparent Conductive Oxide Coating----國家實驗研究院儀器科技研究中心
薄膜表面特徵
透明導電薄膜 (TCO) 具有良好導電性及透光性，廣泛應用於液晶顯示器、觸控面板、電磁波防護與太陽能電池等。TCO 薄膜在應用上常鍍製於玻璃基板，但玻璃易碎、且大尺寸玻璃不易製作。本中心應用新式低溫鍍膜製程技術成功開發高透光性與高導電性 TCO 薄膜，將 TCO 薄膜鍍製於塑膠基板，可製作各種尺寸、曲面形狀的可撓 (軟) 性光電元件。
技術能量
· 低溫塑膠 (PET、PC) 透明導電薄膜製程技術
· 表面改質與離子輔助濺鍍製程
· 透明導電薄膜光電性質與微觀分析解決方案
· 新式透明導電薄膜材料開發
規格
· 可見光穿透率 > 85% (@ 400 – 700 nm)
· 電阻率 < 10 Ω⋅cm
· 表面粗糙度 (rms) < 1.4 nm
應用領域
· 平面顯示器用透明導電薄膜基板
· 可撓 (軟) 性導電塑膠基板
· 電磁波遮蔽板
· 抗反射導電薄膜基板
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